| クリーンルーム内に、以下のような半導体微細加工設備を設置しています。また、超純水製造装置や超音波ボンディング装置や評価・計測装置も揃えています。 マイクロデバイスの試作・評価にご利用下さい。 |
 クリーンルーム |
| 高精度マスクアライナー |
| 両面マスクアライナー |
| 高精度マスク作製装置 |
| レーザ描画装置 |
| 半導体熱処理炉 |
| リアクティブ・イオン・エッチング装置 |
| 電極用スパッタ装置 |
| その他の試作用装置 |
| その他の計測用装置 |