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高精度マスクアライナー



製造メーカー：　カール・ズース株式会社
型番：　ＭＡ４ＩＲ
仕様：　最小線幅　約１μｍ
仕様：　アライメント精度　１〜２μｍ
　　　　　ウェハ最大４インチΦ
　　　　　３〜６インチマスク使用可能

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　　　（番号：A3137、機器名：高精度フォトリソグラフ）


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