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リアクティブ・イオン・エッチング装置


製造メーカー：　サムコ・インターナショナル研究所製
型番：　ＲＩＥ−１０Ｎ
仕様：　ＣＦ４、ＣＨＦ３、ＳＦ６、Ｏ２使用可能
　　　　　電極径２１０ｍｍΦ
　　　　　最大ＲＦ電力３００Ｗ

　依頼加工の場合：
　　　ご利用料金はこちらから
　　　　（番号：O305、項目：イオンビームエッチング）
　機器使用の場合：
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　　　　（番号：A3028、項目：イオンビームエッチング装置）


詳しい説明（テクニカルシート）

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