大阪府立産業技術総合研究所
＞
情報電子部
＞
電子・光材料系
＞
マイクロデバイス分野
＞
主要設備紹介
＞両面マスクアライナ
両面マスクアライナー
製造メーカー： (株)ユニオン光学
型番： ＰＥＭ−８００
仕様： 最小線幅２μｍ
最大露光領域 ４インチΦ
使用可能マスク 2.5インチ角、３インチ角、５インチ角
両面マスク合わせ可能（位置精度５μｍ）
ご利用料金はこちらから
（番号：A3037、機器名：フォトリソグラフ）
より詳しい説明（テクニカルシート）
戻る
