大阪府立産業技術総合研究所
＞
情報電子部
＞
電子・光材料系
＞
マイクロデバイス分野
＞
主要設備紹介
＞半導体熱処理炉
半導体熱処理炉
製造メーカー： ㈱光洋リンドバーグ
型番： ２７４Ａ－Ｍ４００
２７４ＡＬＰ－Ｍ４００
仕様： ウェハ最大４インチΦ
最大処理枚数 ２０枚
使用最大温度１１５０℃
ドライ酸化・ウェット酸化可能
ＬＰＣＶＤ可能（ＳｉＮ、ポリシリコン）
ご利用料金はこちらから
（番号：O310、項目：半導体熱処理）
詳しい説明（テクニカルシート）
戻る
