大阪府立産業技術総合研究所＞情報電子部＞電子・光材料系＞ マイクロデバイス分野＞主要設備紹介＞クリーンルーム

クリーンルーム


クラス：10000（局所的にクリーンベンチによりクリーン度を向上）
広さ：約９０ｍ２（新技術開発棟３Ｆと本館地下に２カ所）
温度：２１℃・湿度：５０％に常にコントロール
超純水装置・スピンコーター・スピンドライヤー・オーブン等を設置

戻る