マイクロデバイス分野へようこそ！！

MEMS技術や機能性薄膜を用いたセンサなどのマイクロデバイス開発を支援しています

　
抵抗ボロメータ型赤外線センサアレイ（８ｘ８）

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講習会案内
　　 産技研・設備機器利用技術講習会　　　　5月30日　（13:00〜17:00）　
　　　　　新規に導入された微細加工用マスク作成装置の利用講習会を行います
　　　　また、同時にMEMS技術全般についての講義も行います
　　　　　　　満員御礼！！　　この講習会は定員となりましたので、募集を終わりました．

　　マイクロデバイス作製実習講座　　　　　　10月27〜31日　
　　　　　　−先端MEMS技術で赤外線センサアレイを作ろう！！−
　　　　　　　実際にクリーンルーム内でMEMS技術を用いて赤外線センサアレイを
　　　　　作製します。講義半日、実習２日間のコースです。作製したデバイスは
　　　　　持ち帰っていただけます。
　　　　　　　　詳しい案内状はこちら　　micro08.pdf　　
　　　　　　　　

ご利用方法

関連団体
　　　センシング技術応用研究会

お問合せ先

　　　電話番号:
　　　　　0725-53-1121（一般案内）, 0725-51-2525（技術支援センター）
　　　電子メール:
　　　　　techconsul@tri.pref.osaka.jp （技術的なお問い合わせ）
　　　　 電子メールで質問される方へのお願い
　　　　 インターネット技術相談はこちらへ

　　　〒 594-1157 大阪府和泉市あゆみ野2-7-1
　　　大阪府立産業技術総合研究所 [交通案内]

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