研究紹介
マイクロデバイス分野では、MEMS技術と機能性薄膜作成技術および信号処理システム構築技術を組み合わせて、高機能なセンサの研究を行っています。 特に超音波マイクロアレイセンサ及び赤外線アレイセンサに力を入れています。また、最近では有機トランジスタの研究にも力を入れています。 |
研究テーマ (主なもの)
平成22年度 |
立体構造を持つ有機半導体FETの開発と分子デバイスへの応用 |
革新的な高性能有機トランジスタを用いた表示パネル用フレキシブル高性能マトリックスの開発 |
MEMS技術を使った小型電子機器向け振動発電デバイスの開発 |
平成21年度 |
立体構造を持つ有機半導体FETの開発と分子デバイスへの応用 |
3次元超音波と光の複合化画像処理技術開発によるロボットビジョンセンサの実用化 |
平成20年度 |
3次元超音波と光の複合化画像処理技術開発によるロボットビジョンセンサの実用化 試作システムの動画 |
MEMS技術を用いた微小材料の熱測定デバイスの開発 |
フレキシブル表示デバイス用FETのための新規有機無機ハイブリッド材料の開発 |
平成19年度 |
3次元超音波と光の複合化画像処理技術開発によるロボットビジョンセンサの実用化 |
超音波による高温・高圧・濁水中の3次元映像化技術の実用化 |
MEMS技術を用いた微小材料の熱測定デバイスの開発 |
フレキシブル表示デバイス用FETのための新規有機無機ハイブリッド材料の開発 |
平成18年度 |
福祉・ロボット向け高機能センシングシステムの開発 試作ロボットの動画 |
超音波による高温・高圧・濁水中の3次元映像化技術の実用化 |
フレキシブル表示デバイス用FETのための新規有機無機ハイブリッド材料の開発 |
最近の研究報告
論文発表
立体構造を有する三次元有機トランジスタ |
宇野真由美他、大阪府立産業技術総合研究所報告 No.23(2009)59-63 詳細はこちら |
Moderately anisotropic field-effect mobility in dinaphtho[2,3-b:2',3'-f]thiopheno[3,2-b]thiophenes
single-crystal transistors |
M. Uno 他、Applied Physics Letter, 94 (2009) 223-308. |
Three-deimensional organic field-effect transistors with high output current and high on-off ratio |
M. Uno 他、Applied Physics Letter, 94 (2009) 103307. |
Three-deimensional organic field-effect transistors: charge accumulation in the vertical semiconductor channels |
M. Uno 他、Applied Physics Letter, 93 (2008) 173301. |
有機薄膜トランジスタ向け塗布型ゲート絶縁膜材料の開発とトランジスタ特性の評価 |
村上修一他、大阪府立産業技術総合研究所報告 No.23(2008)79-84 詳細はこちら |
フッ素系樹脂を用いた超音波マイクロアレイセンサの特性改善 |
田中恒久 他、電気学会 センサ・マイクロマシン準部門誌 Vol.127,No.1(2007)p.7-13 |
MEMS技術を応用した新規センサと高機能センシングシステムの開発 |
井上幸二他、大阪府立産業技術総合研究所報告 No.20(2006) 詳細はこちら |
Preparation of PbSc0.5Ta0.5O3 Ferroelectric Thin Films For Infrared Detection by Pulse Laser Deposition |
S. Murakami 他、Sensors and Materials, Vol.16 No.5 (2004) 231-239 |
口頭発表
立体構造を有する三次元有機トランジスタ 宇野真由美他、2009年大阪府立産業技術総合研究所研究発表会 詳細はこちら |
高速信号処理による超音波の三次元画像 金岡祐介他、2009年大阪府立産業技術総合研究所研究発表会 詳細はこちら |
生産性に優れたMEMS超音波センサの開発 田中恒久他、2009年大阪府立産業技術総合研究所研究発表会 詳細はこちら |
超音波パルスのスペクトラム拡散による位置計測 金岡祐介他、2008年大阪府立産業技術総合研究所研究発表会 詳細はこちら |
有機発光材料 poly(9,9-dioctylfluorene)の高秩序配向膜の光物性 村上修一他、2008年大阪府立産業技術総合研究所研究発表会 詳細はこちら |
複合窒化物薄膜を用いた熱型赤外線イメージセンサの開発 宇野真由美他、2007年大阪府立産業技術総合研究所研究発表会 詳細はこちら |
シルセスキオキサン系ゲート絶縁膜を用いた薄膜トランジスタの作製と評価 村上修一他、2007年大阪府立産業技術総合研究所研究発表会 詳細はこちら |
ICP-RIEを用いた円形型マイクロ超音波センサの開発 田中恒久他、2007年大阪府立産業技術総合研究所研究発表会 詳細はこちら |
超音波マイクロアレイセンサの特性改善 田中恒久他、2006年大阪府立産業技術総合研究所研究発表会 詳細はこちら |
化学溶液堆積法によるBa(Ti,Zr)O3強誘電体薄膜の作製 村上修一他、2006年大阪府立産業技術総合研究所研究発表会 詳細はこちら |
誘電ボロメータ型赤外線センサの高性能化 宇野真由美他、2006年大阪府立産業技術総合研究所研究発表会 詳細はこちら |
弗素系樹脂を用いた超音波マイクロアレイセンサの開発 田中恒久他、2005年大阪府立産業技術総合研究所研究発表会 詳細はこちら |
誘電ボロメータ型赤外線センサの高感度化のための受光部構造の開発 宇野真由美他、2005年大阪府立産業技術総合研究所研究発表会 詳細はこちら |