フォトニクス研究開発支援センター
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(最終更新:Wed, Sep 2, 2009 )
■フォトニクス分野 業務内容 ■スタッフ
博士(工学) 森脇耕介 (もりわき こうすけ) 主任研究員 博士(理学) 佐藤和郎 (さとう かずお) 主任研究員 ■担当設備(開放機器)について 電子ビーム描画装置,NLDプラズマエッチング装置など,ナノメートルオーダーの超微細加工が可能な装置をご使用いただくことができます.
企業・大学のみなさま,微細光学素子などで,Si や SiO2 基板上に数μm以下の構造の加工をご計画でしたら,フォトニクス研究開発支援センターのご利用をご検討ください.■研究協力 ■そのほか 資料ダウンロードのページへWed, Sep 2, 2009 更新