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フォトニクス研究開発支援センター

更新：　Mon, Jun 1, 2009

■フォトニクス研究開発支援センターとは
電子線リソグラフィのプロセスを実施可能な装置群を，使用料（時間，半日単位）のご負担だけでご利用いただける，全国的にもユニークな施設です．研究目的の開示義務はありません．ご利用手続きも簡単です．
可視光波長サイズ以下の超微細加工を，「実験してみたいが民間に見当たらない」，「他企業には知られたくない」，「装置を導入するにはあまりに高額」ということでためらっておられた企業の皆様に最適な施設です．ぜひご検討下さい．
回折格子や導波路，マイクロバイオデバイスなど，150nm程度までの加工（Line&Spaceの場合）が可能です．（加工事例集）

設置装置と使用料についてのご案内はこちらへ(Mon, Jun 1, 2009更新)

催　事

2007年
3月6日
 （終了しました）

産技研月例セミナー
「光で立体形状を測る（有料）」
当センターの紹介もあります．

資料
「フォトニクス研究開発センターの紹介」
資料(PDF)

2005年
11月８日
（終了しました）

産技研月例セミナー
「マイクロ化学とそれを支える微細加工技術の展開（有料）」
当センターの紹介もあります．

ご案内へ
ジャンプ(PDF)

2005年
３月14・15日
（終了しました）

機器利用講習会
「超微細光学素子を作る（実習・無料）」
電子ビーム描画装置とエッチング装置を使って，200ナノメートルのLine&Spaceを実際に作成していただきます．募集３名．

資料
ダウンロード

2003年
５月８日
（終了しました）

技術講習会
「超微細加工による光学素子作成の実際」

資料
ダウンロード

■対応業務［技術相談(無料)以外の有料の制度］
「機器使用」：お客さまに装置を直接操作していただき，試作加工を行っていただきます．もちろん使用法はご指導致します．使用料は開放機器一覧をご覧下さい．
「受託研究」：お客さまと職員とで，期間を定めて，研究を行います．制度の説明はこちらをご覧下さい．
「依頼加工」：対応可能なケースは限られますが，お客さまの試作加工計画を，相談のもとに職員が作業を代行するものとお考え下さい．機器使用料と人件費相当の費用が発生します．（職員は経験・知識をもとに助言と作業を実施しますが，発生する費用は成功／納品の対価ではありません．チャレンジングなご依頼は受託研究制度をご利用下さいますようお願い致します．）
■開放機器
装置・設備の紹介と使用料
■資　料
催事資料ダウンロードページ

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