原子間力を利用した表面形状測定装置

探針を表面に極めて接近させ、原子間力を検出することによって形状測定を行う装置で、0.1nmレベルの原子レベルの空間分解能で形状測定が可能です。測定方式は、接触、非接触ならびにタッピング方式があります。

解析用モニタ

探針

観察用モニタ

探針を表面に極めて接近させ、原子間力を検出することによって形状測定を行う装置で、0.1nmレベルの原子レベルの空間分解能で形状測定が可能です。測定方式は、接触、非接触ならびにタッピング方式があります。