白色干渉を利用した表面形状測定装置

• 三次元表面構造解析顕微鏡の外観写真です。参照光と測定光との光路の差から生じる明暗線からなる干渉像を周波数解析し、三次元像を再現します。

解析用モニタ

顕微鏡部レンズ性能が分解能に重要

観察用モニタ

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