三次元表面形態形状測定装置の測定範囲と分解能
形状測定装置の分解能と測定範囲をモデル的に表示したものです。形状測定は分解能に優れ、測定範囲が優れた、短時間で測定できることなどが求められるますが、オールマイティな装置はないのが現状です。
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