ミクロ形状測定例（原子間力探針）

• AFM用の探針の針先を、電子線表面形態解析装置で測定してみました。

• 電子線を用いる形状測定法は、焦点深度が深く、観察しながら測定の位置を特定できるため、研削用バイトや針先などの評価にも活用できます。

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