ミクロ表面形状測定例（回折格子標準試料）
電子線表面形態解析装置による測定例（観察倍率3000倍）
TOPO-SEM像
SEM像では、傾斜に応じて二次電子の発生量が多いことを利用した観察装置です。しかし、実際の観察では凹凸状態を迷うことも多々あります。TOPOｰSEI像では、写真のように左側から光が照射された像で表されるため、凹凸を明確に判断できます。測定データより、表面の凹凸は、10μm周期で約0.2μmのものが繰り返され作製されたものと測定できます。
断面測定図
SEM像
前のｽﾗｲﾄﾞ
次のｽﾗｲﾄﾞ
最初のｽﾗｲﾄﾞに戻る
ｸﾞﾗﾌｨｯｸｽの表示