表面形状測定例(表面粗さ標準試料)
電子線表面形態解析装置による測定例(観察倍率200倍)
TOPO-SEM像
TOPOーSEI像では、写真では左側から光が照射されたように表されるため、SEM像に比べ凹凸を明確に判断できます。電子線を用いる装置では、 1000倍以上の高倍率測定が前提です。これは低倍率では検出器の立体位置によって測定表面に歪みが発生するためです。当所では、検出器の立体位置補正を行う低倍率で歪みの影響を取り除く低倍率測定プログラムを開発しました。
SEM像
補正後
測定形状(補正なし)
補正前後における断面形状
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