二次電子を用いる表面形状測定の原理

複数の二次電子検出器を用いると、表面の凹凸像が得られます。各信号差から電子線照射点の角度を算出でき、この角度と測定ピッチを用いて走査方向に積分すると表面形状を再現できます。右図は、実角度と計算角度の関係です。