電子線を用いた三次元表面形状測定装置

• 電子線表面形態解析装置の外観です。ＳＥＭをベースとした装置で、二次電子による三次元表面形状を測定できます。測定場所の元素分析や分布状況も知ることができます。

二次電子検出器

元素分析検出置

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