大阪府立産業技術総合研究所＞情報電子部＞電子・光材料系＞薄膜・電子材料分野

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　　　○新しい装置が設置されました
　　　　KLA Tencor 社製触針式膜厚測定装置 P-16+ →主要設備のページへ
　　　○新論文掲載
　　　　　"Control of Carrier Concentration of P-type Transparent Conducting 　
　　　　　 CuScO2(0001) Epitaxitial Films", Y. Kakehi, K. Satoh, et.al,
　　　　　　Thin Solid Films 518 (2010) 3097.
　　　　　

Last Update 2011/04/11

　　　　　薄膜・電子材料分野では、真空と薄膜に関する
　　　　　　次のような技術分野の支援を行っています

　　○金属、半導体、無機化合物などの薄膜作製技術
　　○真空計測技術、イオン・プラズマ応用技術
　　○新機能薄膜材料の開発及びデバイス応用