大阪府立産業技術総合研究所
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最新トピックス
○新しい装置が設置されました
KLA Tencor 社製触針式膜厚測定装置 P-16+ →
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○新論文掲載
"Control of Carrier Concentration of P-type Transparent Conducting
CuScO2(0001) Epitaxitial Films", Y. Kakehi, K. Satoh, et.al,
Thin Solid Films 518 (2010) 3097.
Last Update 2011/04/11
薄膜・電子材料分野では、
真空
と
薄膜
に関する
次のような技術分野の支援を行っています
○金属、半導体、無機化合物などの薄膜作製技術
○真空計測技術、イオン・プラズマ応用技術
○新機能薄膜材料の開発及びデバイス応用
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