電界放出形電子プローブマイクロアナライザ(FE-EPMA)(EBSD付)(半日)

装置番号
A9246
構成装置・型番
メーカー・名称型番
日本電子・電界放出形電子プローブマイクロアナライザ(FE-EPMA)JXA-8530F
TSL・反射菊池線回折装置(EBSD)OIM7.1
ヨミ
デンカイホウシュツガタデンシプローブマイクロアナライザ
料金
45,600円 半日 (消費税8%を含みます)
仕様
分析元素範囲(FE-EPMA)4Be~92U
最小プローブ径(FE-EPMA)直径40nm(10kV、0.01μA)
試料サイズ(FE-EPMA)100mm×100mm×20mm(H)以下
空間分解能(EBSD)100nm以下
測定時間(EBSD)0.01sec/poit
分析範囲(EBSD)直径20mmまで
その他(EBSD)高精度ひずみ解析ソフト付
関連装置
参考画像