高分解能走査電子顕微鏡

装置番号
A3156
構成装置・型番
メーカー・名称型番
日本電子・走査電子顕微鏡(FE-SEM)JSM-6301F
ヨミ
コウブンカイノウソウサデンシケンビ
料金
37,700円 半日 (消費税10%を含みます)
仕様
2次電子像分解能1.5nm(30kV)、6nm(1kV)
最大試料サイズφ30mm×20mm(H)
試料ステージ可動範囲X=50mm、Y=50mm、Z=8~34mm、T=-9°~60°、R=360°
その他反射電子像観察可能