TRI OSAKA 機械金属部

材料評価のための表面元素分析法:NEW

2000/2/10

 表面元素分析法を中心に、分析法の基礎知識、得られる情報と実測例、各分析法の比較、分析法の選定のための基準と選択法などについて紹介します。(全てpdfファイル)

本文

添付資料
資料1:X線光電子分光分析(XPS)
資料2:オージェ電子分光分析(AES)
資料3:2次イオン質量分析(SIMS)
資料4:X線マイクロアナライザ(EPMA)
資料5:高エネルギーマイクロビーム複合分析(RBS,PIXE)
資料6:高周波グロー放電分光分析(RF−GDS)
資料7:蛍光X線分析(XFS)
資料8:表面元素分析に用いられる分析方法(ICP,AA,IC)
資料9:産技研ニュースより「電子部品の腐食損傷と分析」


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Tsutomu Morikawa

Technology Research Institute of Osaka Prefecture