TRI OSAKA　機械金属部　

研究所における表面分析、観察、形状計測装置

○表面化学Ｇ担当装置

X線光電子分光分析装置(ESCA,XPS)

  • 極表面の元素の定性・定量分析に対応
  • 光電子のケミカルシフトより元素の化学状態解析
  • エッチングによる深さ方向への元素分析



    • 電子線表面形態解析装置

  • 走査型電子顕微鏡による表面拡大観察
  • 電子線プローブによるミクロ領域の表面形状測定
  • エネルギー分散型Ｘ線分析での観察面の元素の定性、定量分析、分布解析
  • ミクロ領域の観察、計測、分析する表面総合評価装置

    • 走査型プローブ顕微鏡

  • 原子間力、トンネル電流による表面形態観察
  • ﾌﾟﾛｰﾌﾞを選択することにより、ミクロ領域での摩擦力、磁気力も評価


    • その他の小道具

    実態顕微鏡
    移動式モニター顕微鏡


    蛍光X線分析装置


    X線回折

    ○研究所所有の種々の装置（表面関連装置抜粋）

    表面分析装置（バルク分析含む）

  • Ｘ線マイクロアナライザ（金属材料Ｇ）
  • ２次イオン質量分析装置（金属分析Ｇ）
  • 光電測光式発光分析装置（金属分析Ｇ）
  • グロー放電発光分析装置（金属分析Ｇ）
  • オージェ電子分光分析装置（薄膜材料Ｇ）
  • 高エネルギーマイクロビーム複合分析装置（薄膜材料Ｇ）
  • プラズマ分光分析装置（超材料Ｇ）

    • 化学分析装置（洗浄、抽出、濃縮含む）

  • 顕微フーリエ赤外分光分析装置（繊維分析Ｇ、有機材料Ｇ）
  • ＧＣ−質量分析計（有機材料Ｇ、高分子材料Ｇ、環境化学Ｇ）
  • イオンクロマトグラフ（環境化学Ｇ）

    • 顕微鏡

  • 高分解能走査型電子顕微鏡（金属材料Ｇ）
  • 低真空型走査型電子顕微鏡（高分子表面加工Ｇ）
  • 走査型電子顕微鏡（塑性加工Ｇ、金属材料Ｇ）
  • 走査型電子顕微鏡付高温疲労試験システム（機能性無機材料Ｇ）
  • 分析機能付透化型電子顕微鏡（金属材料Ｇ）
  • 万能倒立金属顕微鏡（表面機能Ｇ）
  • 偏向顕微鏡（高分子材料Ｇ）
  • 超音波探査映像装置（材料評価Ｇ）
  • 金属組織用顕微鏡（金属分析Ｇ）

    • 表面形状測定機器

  • 白色干渉型三次元表面形状解析装置（精密機械Ｇ）
  • レーザー顕微鏡（表面機能Ｇ）
  • 触針式粗さ計（精密機械Ｇ、表面機能Ｇ）
  • 表面微細パターン形状測定装置（薄膜材料Ｇ）
  • 膜厚表面形状測定装置（電子デバイスＧ）
    • （その他の装置につきましては、
    研究所ﾄｯﾌﾟﾎｰﾑﾍﾟｰｼﾞの保有機器検索、
    大阪府立産業技術総合研究所「ご利用の手引き」冊子を御参照ください）

    last updated 26th Feb. 1998

    Tsutomu Morikawa

    Technology Research Institute of Osaka Prefecture