分析装置の種類と略号

分析プローブと得られる情報

分析装置の種類

　　　　表面分析装置

X線光電子分光分析装置（ESCA,XPS)

オージェ電子分光分析装置（AES,SAM）

X線マイクロアナライザ（EPMA,XMA)

二次イオン質量分析装置(SIMS,IMA)

FT赤外分光分析装置(FT-IR)

ラマン分光分析装置(Raman)

グロー放電発光分光分析装置(GDS)

蛍光X線分析装置(XRF)

表面観察、形状計測装置

実態顕微鏡

金属顕微鏡

微分干渉顕微鏡

走査型電子顕微鏡(SEM)

表面粗さ計

走査型プローブ顕微鏡(AFM,STM）

レーザ顕微鏡

白色光顕微鏡

構造、組織観察

透化型電子顕微鏡(TEM)

超音波顕微鏡

X線透化装置

X線回折装置（XRD)

その他(洗浄、濃縮等の組み合わせ）

ガスクロ質量分析装置（GC-MS)

イオンクロマト（IC)

ICP発光分光分析装置

ガスクロマトグラフ（GC)

原子吸光分析装置

last updated 18th Feb. 1998

Tsutomu Morikawa

Technology Research Institute of Osaka Prefecture