参考文献
1)特集光学的非接触方式による高精密測定技術、精密機械、51,(4),(1985)
2)特集ナノテクノロジー構築最前線、精密工学会誌、55,(3),(1990)
3)特集形状計測におけるソフトウエアの役割、精密工学会誌、61,(8),(1995)
4)特集表面キャラクタリゼーションの現状と将来、精密工学会誌、61,(11),(1995)
5)日本機械学会編;超精密形状計測技術(コロナ社、1996)電子線を用いた形状測定
6)佐藤壽芳、大堀真敬;日本機械学会論文集c編、49、(438)、227(1983)
7)田口佳男;トライボロジスト、35、814(1990)
9)K.J.Stout; Three-Dimensional Surface Topography、 p.103 (Penton Press,1995)
10)谷尻豊寿;パソコンによる最新画像処理技術、(技術評論社、1996)
11)村川享男;金属機能表面、p.19(近代編集社、1984)
注意)本資料は、大阪府立産業技術総合研究所表面化学グループホームページ用に作成したものです。内容を参考とされた場合には、必ず当ホームページ名を明記ください。
なお、当グループの許可なく、本資料内容の無断転載、複製、複写使用はできませんのでご注意ください。
(森河 務:http://www.tri.pref.osaka.jp/group/surface)