表面の観察法と形状測定対象例
表面の観察法の大きさ表面形状の関係を表したものです。図下には各種の加工法による形状と仕上がり表面の粗さの三角記号です。
1nm
1μm
1mm
原
子
サ
イ
ズ
不
動
態
膜
厚
陽
極
酸
化
膜
孔
磁性膜
LSIﾊﾟﾀｰﾝ→
超精密加工
研削
切削
変形
走査型ﾌﾟﾛｰﾌﾞ顕微鏡
電子顕微鏡
光学顕微鏡
肉眼
γ線
X線
紫外線
可視光
赤外線
ﾏｲｸﾛ波
テ
ラ
ス
キ
ン
ク
結
晶
粒
サ
イ
ズ
装
飾
め
っ
き
膜
厚
工
業
用
め
っ
き
膜
厚
←ﾌﾟﾘﾝﾄ基板配
ﾊﾞﾌ研摩
化学研摩
電解研摩
ﾌﾞﾗｽﾄ
ﾗｯﾋﾟﾝｸﾞ
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▽
Rmaxと三角記号
各種加工
法の粗さ
結
晶
核
生
成
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