TRI OSAKA機械金属部

表面形態測定の基礎知識

−三次元表面形状を測る−

98/04/20

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目次

表面形態測定の基礎知識 ー三次元表面形状を測るー

表面の観察法と形状測定対象例

三次元表面形態形状測定装置の諸性能

電子線を用いた三次元表面形状測定装置

二次電子を用いる表面形状測定の原理

レーザを用いた表面形状測定装置

白色干渉を利用した表面形状測定装置

原子間力を利用した表面形状測定装置

三次元表面形態形状測定装置の測定範囲と分解能

粗さ曲線と表面粗さパラメータ

算術平均粗さ(Ra)

最大高さ(Ry)

十点平均粗さ(Rz)

凹凸の平均間隔(Sm)

局部山頂の平均間隔(S)

負荷長さ率(tp)

画像処理による形状計測

三次元表面形状測定の表面評価パラメータ

触針型表面形状測定装置における誤差の例

触針型表面形状測定装置における誤差の例2

形状のデジタル測定によるサンプリング誤差の例

形状解析でのフィルタ処理の例

形状解析でのフィルタ処理による誤差発生の例

表面形状の測定例

表面形状測定例(表面粗さ標準試料)

表面形状測定例(表面粗さ標準試料)

表面形状測定例(表面粗さ標準試料)

表面形状測定例(表面粗さ標準試料)

ミクロ表面形状測定例(回折格子標準試料)

ミクロ表面形状測定例(回折格子標準試料)

ミクロ形状測定例(回折格子標準試料)

ミクロ形状測定例(回折格子標準試料)

めっき面測定例(光沢ニッケルめっき面)

めっき面測定例(光沢ニッケルめっき面)

めっき面測定例(無光沢ニッケルめっき面)

めっき面測定例(無光沢ニッケルめっき面)

めっき面測定例(無光沢ニッケルめっき面)

めっき面測定例((100)面銅素地への銅めっき)

めっき面測定例( 圧延銅板への銅めっき)

めっき面測定例(非晶質Ni-P合金めっき上の銅めっき)

めっき皮膜の表面粗さ測定例

めっき面解析例( 非晶質Ni-P合金めっき上の銅めっき)

ミクロ形状測定例(原子間力探針)

STMによる原子レベルの測定例(グラファイト表面)

まとめ

謝辞

参考文献

作成者 :Morikawa

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