大阪府立産業技術総合研究所情報電子部電子・光材料系マイクロデバイス分野主要設備紹介>エリプソメーター

エリプソメーター


 シリコン基板上などに作製された薄膜の厚みを光学的に測定するものです。非接触で計測しますので、有機膜 などの柔らかい膜でも計測可能です。基板は不透明で、鏡面である必要があります。また、膜厚の計測には基板の複素屈折率(n,k)が必要です。

製造メーカー: 轄a尻光学
型番: DV−36L
仕様: 計測光 He-Neレーザ
     計測波長 632.8nm
     最大サンプル径 3インチΦ
     計測方法 消光法

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    (番号:A3038、項目:エリプソメータ)

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