エリプソメーター
シリコン基板上などに作製された薄膜の厚みを光学的に測定するものです。非接触で計測しますので、有機膜 などの柔らかい膜でも計測可能です。基板は不透明で、鏡面である必要があります。また、膜厚の計測には基板の複素屈折率(n,k)が必要です。 |
製造メーカー: 轄a尻光学 |
型番: DV−36L |
仕様: 計測光 He-Neレーザ |
計測波長 632.8nm |
最大サンプル径 3インチΦ |
計測方法 消光法 |
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(番号:A3038、項目:エリプソメータ) |