薄膜極微細構造制御装置
（有機ＭＢＥ）

本装置は、有機薄膜を高真空下で作成する装置です。また、作成した有機薄膜の光物性を測定するためのエリプソメトリー及び構造観察用のＳＴＭ／ＡＦＭ室を備えています。

仕様
　　有機膜成膜室　（到達圧力：５ｘ１０^−１１Ｔｏｒｒ以下）
　　金属成膜室　　（到達圧力：５ｘ１０^−１１Ｔｏｒｒ以下）
　　ＳＴＭ／ＡＦＭ室　（到達圧力：５ｘ１０^−１１Ｔｏｒｒ以下）
　　投入室　　　　　　（到達圧力：５ｘ１０^−１１Ｔｏｒｒ以下）

装置概観