分光エリプソメーター
（大塚電子製、ＦＴＭ７７００Ｗ）
本装置は薄膜の膜厚や屈折率を光学的に測定する装置です。基板上の単層膜や多層膜の膜厚及び屈折率の測定が可能です。また、顕微反射分光も備えており、微小部分の膜の測定も可能です。
ハードウェア仕様
１．エリプソメーター
測定波長範囲：２５０−８００ｎｍ
波長分解能：１．２５ｎｍ
スポット径：１０００ミクロン、２００ミクロン
２．ＵＶ／ＶＩＳ顕微反射分光
測定波長範囲：２２０−８００ｎｍ
波長分解能：１．２５ｎｍ
ＵＶ／ＶＩＳ対応対物レンズ倍率：２０Ｘ，４０Ｘ
スポット径：１０ミクロン、５ミクロン
装置概観