開催記録

これまでの分科会(薄膜センサ技術分科会)
第49回分科会　平成12年 7月21日（金）龍谷大学　瀬田キャンパスRECホール１階１０１会議室
第50回分科会　平成12年10月31日（火）三菱電機(株)先端技術総合研究所　大会議室
第51回分科会　平成13年 7月4日（水）大阪工業大学　新材料研究センターセミナー室
第52回分科会　平成13年11月28日（水）独立行政法人産業技術総合研究所関西センター
第53回分科会　平成14年 6月6日（木）関西大学　学術フロンティアセンター2階　会議室

これまでの分科会(MEMS技術分科会)
第1回分科会　平成14年9月20日（金）姫路工業大学　書写キャンパス
第2回分科会　平成15年1月24日（金）広島県立西部工業技術センター
第3回分科会　平成15年9月30日（火）大阪市中央公会堂2F 会議室6,7,8
第4回分科会　平成16年6月3日（木） 京都大学　桂キャンパス　事務管理棟3階
第5回分科会　平成16年12月6日（月）立命館大学　びわこ・くさつキャンパス
第6回分科会　平成17年9月22日（木）大阪市中央公会堂　地階　大会議室
第7回分科会　平成18年7月26日（水）大阪市中央公会堂　地階　展示室
第8回分科会　平成19年2月20日（火）ドーンセンター　5階　セミナー室　2　
第9回分科会　平成19年7月10日（火）大阪市中央公会堂　地階　大会議室
第10回分科会　平成20年8月27日（水）キャンパスプラザ京都　第二会議室
第11回分科会　平成21年1月19日（月）兵庫県立大学　姫路書写キャンパス　書写記念会館
第12回分科会　平成21年11月17日（火）キャンパスプラザ京都　第三講義室
第13回分科会　平成22年12月14日（火）京都工芸繊維大学　60周年記念館　1階ホール
第14回分科会　平成23年7月26日（火）兵庫県立大学　姫路書写キャンパス　書写紀念会館ホール

これまでの分科会(グリーンシステム技術（GST）分科会)
第1回分科会　 平成24年11月22日（木）常翔学園大阪センター３０４室
第2回分科会　平成25年1月31日（木）公立大学法人大阪府立大学C1棟学術交流会館小ホール
第3回分科会 平成25年5月24日（金）オムロン株式会社　京阪奈イノベーションセンター　2階大会議室
第4回分科会 平成25年7月30日（火）常翔学園大阪センター301室
第5回分科会 平成26年6月19日（木）大阪大学産業科学研究所第2研究棟１階セミナー室S109室
第6回分科会　平成26年11月17日（火）三宮トレーニングセンター会議室（Sannomiya Training Center）
第７回分科会　平成26年12月10日（水）京都テルサ　会議室D
第８回分科会　平成27年7月17日（金）常翔学園大阪センター301室
第９回分科会　平成28年7月26日（火）TKPガーデンシティPREMIUM大阪駅前　　シクラメン
第10回分科会　平成29年7月10日（月）大阪産業技術研究所　森之宮センター　大講堂
第11回分科会　平成30年2月9日（金）大阪府立大学中百舌鳥キャンパス　B3棟　1階　117号室
第12回分科会　平成30年7月10日（火）大阪産業技術研究所　森之宮センター　大講堂
第13回分科会　令和元年7月31日（水）大阪産業創造館　5階　研修室A、B
第14回分科会　令和2年7月29日（水）堺市産業振興センター　4階　セミナー室 2
第15回分科会　令和3年7月14日（水）堺市産業振興センター　4階　セミナー室 2
第16回分科会　令和4年7月14日（木）堺市産業振興センター　4階　セミナー室 2
第17回分科会　令和5年7月21日（金）堺市産業振興センター　4階　セミナー室 2

第51回薄膜センサ技術分科会
日時：平成13年7月4日（水）　午後1時〜5時20分
場所：大阪工業大学　新材料研究センターセミナー室（大阪工業大学短期大学2号館1F）
＜内容＞
○総会　13:00〜13:30
○講演　
13:30〜14:30「バイオセンサ用化合物半導体の開発」
大阪工業大学電気工学科バイオベンチャーセンター
グループリーダー助教授　　佐々　誠彦氏
14:30〜15:30「赤外線センサとその生活空間システムへの応用」
　　　　　松下電器産業�鰍ｭらし環境開発センター　橋本　和彦氏　　　　　
　・製品紹介
15:30〜16:10「ICP-RIEについての製品紹介」
　　　　　　　　　住友精密�潟}イクロテクノロジ事業部技術部
　　　　　　　　　　　　　　　笠井　一夫氏
○見学　16:10〜17:20大阪工業大学　新材料研究センター、バイオベンチャーセンター

第52回薄膜センサ技術分科会
日時：平成13年11月28日（水）　午後2時〜4時50分
場所：独立行政法人産業技術総合研究所関西センター（旧大阪工業技術研究所）
人間計測連携研究棟１階　人間棟会議室
＜内容＞
○ 講演　
14:00〜14:50「マイクロ電気泳動チップを用いるケミカル情報のハイスループットスクリーニング」
（独立行政法人）産業技術総合研究所　　　ヒューマンストレスシグナル研究センター　脇田慎一氏
14:50〜15:40「ＩＴＯ関連」
　　　　　大阪府中小企業支援センター　小川倉一氏　　　　　
　○　見学　15:50〜16:50（独立行政法人）産業技術総合研究所関西センターの見学

第53回薄膜センサ技術分科会
日時：平成14年6月6日（木）　午後2時〜5時00分
場所：関西大学　学術フロンティアセンター　2階　会議室　
＜内容＞
○　講演　14:00〜14:50仮題「マイクロマシン関係での研究成果」
　　　　　　　　　　　　　関西大学工学部機械工学科　教授　　　新井　泰彦氏
　　　　　　14:50〜15:40仮題「シリコン薄膜関係での研究成果」
　　　　　　　　　　　　　関西大学工学部電子工学科　講師　　　中村　和広氏　　　　　
　　　　　　15:40〜16:10　「マイクロマシンのファンドリサービス」
　　　　　　　　　住友金属工業�凱EMS推進特別チーム　　駒井　正嗣氏
○ 見学　16:15〜17:00関西大学ハイテク・リサーチセンターおよび
工学部半導体工学研究室の見学

第１回MEMS技術分科会
日時：平成14年9月20日（金）　午後1時30分〜5時00分
場所：姫路工業大学　書写記念会館
　兵庫県姫路市書写2167
＜内容＞テーマ「光応用プロセスと光応用デバイスおよびセンサ一般」
○講演　
13:30-13:50「Hyper Omni Vision用CMOSカメラ」
　大城　理、香川景一郎、太田　淳、菅　幹生（奈良先端大）、土居元紀（大阪電気通信大）、湊小太郎、布下正宏、千原國宏（奈良先端大）
13:50〜14:10「蛍光・偏光・波長変調を用いた差分撮像」
　山下　馨、木村 貴之（大阪大）、木村 一貴(立命館大)、奥山 雅則（大阪大）、濱川 圭弘(立命館大)
14:10〜14:30「光多重反射を用いたシリコン集積化ヘモグロビン量センサの諸特性」
　高尾 英邦、野田 俊彦（豊橋技科大）、宮村 和宏（堀場製作所）、足木 光昭、澤田 和明、石田　誠（豊橋技科大）
14:30〜14:50「MEMS 技術を用いた光ジャイロに関する研究」
　前田 耕平、上田 英喜、藤田 孝之、前中 一介、高山 洋一郎（姫路工大）
14:50〜15:10「電子ビーム露光装置を用いた微小光学素子の作製」
　四谷　任、余　万吉、豊田　宏（大阪科学技術センタ?）
-----------------　休憩　15:10-15:40-------------------
併設 マイクロ若手の会　研究室紹介パネル展示
15:40-16:00「マイクロ波プラズマCVDによる光ナノSi薄膜の作製とその評価」
　毛塚 博史（東京工科大）、加藤　勇、斎藤 良平（早稲田大）、鈴木 恒則（東海大）
16:00-16:20「AFMを用いたナノ加工・MEMS材料試験技術の開発」
　生津 資大（姫路工大）、磯野 吉正（立命館大）
16:20-16:40「金属コアを持つ圧電ファイバを用いたスマートボードの作製」
　佐藤 宏司、下條 善朗、関谷　忠（産業技術総合研究所）
16:40-17:00「ガイド波を用いた探傷用電磁超音波センサの開発」
　問山 清和、縄稚 典生（広島県立西部工業技術センター）
併設 17:00-17:30
マイクロ若手の会　研究室紹介パネル展示
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第２回MEMS技術分科会
日時：平成15年1月24日（金）　午後1時30分〜4時10分
場所：広島県立西部工業技術センター　4階　大研修室
〒737-0004　広島県呉市阿賀南2-10-1
＜内容＞
○　講演　13:30〜14:20「スパッタリング法による高速成膜」
　　　　　　　　　広島工業大学工学部電子･光システム工学科　教授　川畑　敬志　氏
　　14:20〜15:10「ダイヤモンドのピエゾ抵抗効果のセンサへの応用」
　　　　　　　　　広島県立西部工業技術センター応用加工技術部
副主任研究員　山本　晃　　氏　　　　　
○ 見学　15:20〜16:10　広島県立西部工業技術センターの見学

第３回MEMS技術分科会
日時：平成15年9月30日（火）　午後2時00分〜4時30分
場所：大阪市中央公会堂　2階　会議室6,7,8
〒530-0005　大阪市北区中之島1-1-27　
＜内容＞
○　講演　14:00〜15:20「Transducers2003参加報告−
　　　　　　　　　　RFMEMS、オプチカルMEMS、機械量センサを中心として」
　　　　　　　　　　　　　　姫路工業大学工学部電子工学科　助教授　前中　一介　氏
　　　　　15:30〜16:30「新しいMEMSファウンダリを目指した取り組みについて」
　　　　　　　　　　　　　松下電工�株ｼ導体開発センター　　　　　富井　和志　氏　　　　　

第４回MEMS技術分科会
日時：平成16年6月3日（木）　午後1時30分〜4時30分
場所：京都大学　桂キャンパス　事務管理棟3階　ラウンジ
〒615-8510　京都市西京区京都大学桂　Ａクラスター事務区庶務掛
＜内容＞
○講演　13:30〜14:10「田畑研究室におけるMEMS研究-present & future -」
　　　　　　　　　京都大学大学院工学研究科機械工学専攻　教授　田畑　　修　氏
　　　　14:10〜14:50「静電容量型慣性力センサ」
　　　　　　　　　京都大学大学院工学研究科機械工学専攻助教授　土屋　智由　氏
　　　　14:50〜15:30「マイクロチップ上での高性能分離分析」
　　　　　　　　　京都大学大学院工学研究科材料化学専攻　教授　大塚　浩二　氏
○見学　15:40〜16:30「京都大学桂キャンパス・インテックセンター」

第5回MEMS技術分科会
日時：平成16年12月6日（月）　午後1時00分〜4時30分
場所：立命館大学　びわこ・くさつキャンパス　ローム記念館5F 　大会議室　
〒525-8577　滋賀県草津市野路東1-1-1　　
○講演　13:00〜13:45　「立命館におけるMEMS研究」
　　　　　　　立命館大学理工学部マイクロ機械システム工学科教授　杉山　進　氏
　　　　13:45〜14:30　「MEMSの赤外線センサ応用」
　　　　　　　立命館大学理工学部マイクロ機械システム工学科教授　木股　雅章　氏
　　　　14:40〜15:25　「ＲＦ−ＭＥＭＳレビュー：現状と課題」
　　　　　　立命館大学理工学部マイクロ機械システム工学科教授　鈴木　健一郎氏
○見学　15:30〜16:30「立命館大学マイクロシステム技術研究センター」

第6回MEMS技術分科会
日時：平成17年9月22日（木）13：30〜16：20
場所：大阪市中央公会堂　地階　大会議室
　　　　　大阪市北区中之島1-1-27　TEL：06-6208-2002
○講演　13:30〜14:10
「Transducers2005参加報告-総論及びアクチュエータの光応用と
　　　　　　　　　　　　　　　　　ナノエレクトロニクス関連」
　　 立命館大学理工学部マイクロ機械システム工学科助教授　小西　聡氏
14:10〜14:50
「Transducers2005参加報告−オプティックス関連」
　　　 セイコーエプソン�叶謦[技術開発センターMEMS領域　輿田　光宏氏
15:00〜15:40
「Transducers2005参加報告−バイオ関連」
　 立命館大学理工学部マイクロ機械システム工学科専任講師　横川　隆司氏
　　　　15:40〜16:10
「Transducers2005−ナノネットワークセンシング関連」
　　　　　　　　　兵庫県立大学工学部電子工学科助教授　前中　一介氏
16:10〜16:20　
「本会のMICS（集積回路マルチチップサービス）提供について」
　　　　　　　　　兵庫県立大学工学部電子工学科助教授　前中　一介氏

第7回MEMS技術分科会
日時：平成18年7月26日（水）　午後1時30分〜4時40分
場所：大阪市中央公会堂　地階　展示室　
　　大阪市北区中之島1-1-27　　　　TEL：06-6208-2002
参加者　２１名
○講演　13:30〜14:00「APCOT2006参加報告-総論」
　　　　　　　　　兵庫県立大学大学院工学研究科
　　　　　　　　　　　　　　　　　電気系工学専攻助教授　前中　一介氏
　　　　14:00〜14:50「APCOT2006参加報告−デバイス関連」
　　　　　　　　　大阪大学大学院基礎工学研究科
　　　　　　　　　　　　　　　　　　システム創成専攻助手　山下　馨　氏
　　　　15:00〜15:50「APCOT2006参加報告−プロセス関連」
　　　　　　　　　兵庫県立大学大学院工学研究科
　　　　　　　　　　　　　　　　　　電気系工学専攻助手　藤田　孝之氏
　　　　15:50〜16:40「APCOT2006参加報告−バイオ関連」
　　　　　　　（独）農業生物資源研究所昆虫科学研究領域
　　　　　　　　　　　　　　　　　　絹タンパク素材開発ユニット
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　主任研究官　桑名　芳彦氏

第8回MEMS技術分科会
日時：平成19年2月20日（火）　午後1時00分〜4時40分
場所：ドーンセンター　5階　セミナー室　2　
〒540-0008　大阪市中央区大手前1-3-49　　　　TEL：06-6910-8500　
参加者　２３名
○講演 13：00〜13：30　「ＭＥＭＳリングレーザジャイロの研究開発について」
　　　　　　　兵庫県立大学大学院工学研究科　電気系工学専攻　前中　一介　氏
　　　13：30〜15:00　「半導体リングレーザジャイロ」
　　　　　　　　　ＡＴＲ波動工学研究所　非線形科学研究室　　原山　卓久　氏
　　　15：10〜16:40　「レーザダイオードの現状と応用」
　　　　　　　　　ソニー�鰍bＴ開発本部ＡＬＴ部　　　　　　　平田　照二　氏

第9回MEMS技術分科会　
　　『INSS　及び　Transducers2007参加報告』
日時：　平成１９年７月１０日（火）　午後１時３０分〜４時２０分
場所：　大阪市中央公会堂　地階　大会議室
　　　　　　　大阪市北区中之島1-1-27　　　　TEL：06-6208-2002　　　　　　　
参加者　３２名
○講演
１．「INSS参加報告　及び　Transducers2007総論」　　　　　　　　　　（13:30〜14:10）
　　　　　　　　　兵庫県立大学大学院工学研究科電気系工学専攻教授　前中　一介　氏
２．「Transducers2007 参加報告−物理センサ関連、システムその他」　　（14:10〜14:50）
　　　　　　　　大阪大学大学院基礎工学研究科システム創成専攻助教　山下　馨　氏
３．「Transducers2007 参加報告−化学・バイオ関連」　　　 　　　　　（15:00〜15:40）
　　　　京都大学大学院工学研究科マイクロエンジニアリング専攻助教　鈴木　孝明
４．「Transducers2007 参加報告−システム・その他」　　　　　　　　 （15:40〜16:20）
　　　　　　　　兵庫県立大学大学院工学研究科機械系工学専攻准教授　生津　資大　氏

第10回MEMS技術分科会
日時：平成20年8月27日（水）　午後1時00分〜5時00分
場所：キャンパスプラザ京都　第二会議室
〒600-8216 京都市下京区西洞院通塩小路下る
参加者　１２名
＜内容＞
○ 講演　13:00〜13:15「APCOT2008参加報告-概説」
京都大学大学院工学研究科マイクロエンジニアリング専攻准教授　土屋　智由氏
13:15〜14:00　「APCOT2008参加報告−Energy　Harvest、省電力技術」
　　　　兵庫県立大学大学院工学研究科電気系工学専攻准教授　藤田　孝之氏
14:00〜14:45　「APCOT2008参加報告−材料評価」
　　　　兵庫県立大学大学院工学研究科機械系工学専攻准教授　生津　資大氏　
15:05〜15:50　「APCOT2008参加報告−機械量、物理センサ」
　　　　京都工芸芸繊維大学大学院工芸科学研究科　准教授　山下　馨　氏
15:50〜16:35　「APCOT2008参加報告−加工及びその他」
　　　　京都大学大学院工学研究科マイクロエンジニアリング専攻准教授　土屋　智由氏

第11回MEMS技術分科会
日時：　平成21年1月19日（月） 午後１時00分〜17時30分
場所：　兵庫県立大学　姫路書写キャンパス　書写記念会館　　　
協賛：　ERATO前中センシング融合プロジェクト（JST)、センシング技術応用研究会　次世代センサ協議会
参加者　２６名
　内容
　　第１部　「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム参加報告
　　　　13：00〜13：15　「概説」　　　　　　　　　　　　兵庫県立大学　准教授　藤田　孝之　氏
　　　　13：15〜13：45　「安心安全に関するセンシング技術」
　　　　　　　　　　　　　　　　　ERATOセンシング融合プロジェクト　研究員　黒住　亮太　氏
　　　　13：45〜14：15　「センシングシステム」
　　　　　　　　　　　　　　　　　ERATOセンシング融合プロジェクト　研究員　水戸　将弥　氏
　　　　14：15〜14：45　「物理センサ」　　　　　　　兵庫県立大学　准教授　藤田　孝之　氏
　　　　15：45〜15：15　「光関連MEMS」　兵庫県立大学大学院博士課程　橋本　泰知　氏
　　第２部　「PowerMEMS　2008　＋　μEMS　国際ワークショップ参加報告」
　　　　15：30〜16:00　「概説およびパワーハーベスタ」
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　兵庫県立大学　教授　前中　一介　氏
　　　　16：00〜16：30　「マイクロ燃料電池」
　　　　　　　　　　　　　　　　ERATOセンシング融合プロジェクト　技術参事　樋口　行平　氏
　　第３部　「ERATOセンシング融合プロジェクトのご紹介」

第12回MEMS技術分科会
日時：　平成21年11月17日（火） 午後2時10分〜5時00分
　会場：　キャンパスプラザ京都　4階　第3講義室　
　　　　　京都市下京区西洞院通塩路下る　
　　　　　（JR「京都駅」中央口 徒歩5分 京都中央郵便局西側）
参加者　２８名
内容 講演
　　　「EurosensorsXXIII（Eurosensors09）」(スイスローザンヌ)参加報告会
　　　　14：10〜14：15　「挨拶・総括」兵庫県立大学 大学院工学研究科　教授　前中　一介　氏
　　　　14：15〜14：45　「パッケージ・プロセス技術」京都大学　大学院工学研究科　助教　平井　義和　氏
　　　　14：45〜15：15　「光MEMS」兵庫県立大学　大学院工学研究科　橋本　泰知　氏
　　　　15：15〜15：45　「物理センサ」京都工芸繊維大学　大学院工芸科学研究科　准教授　山下　馨　氏
　　　　16：00〜16：30　「μTAS・化学センサ」JST　ERATO前中プロジェクト　研究員　神田　健介　氏
　　　　16：40〜17：00　「Energy Harvest」兵庫県立大学　大学院工学研究科　准教授　藤田　孝之　氏

第13回MEMS技術分科会
日時：　平成22年12月14日（火） 午後1時30分〜4時30分
会場：　京都工芸繊維大学　60周年記念館　1階ホール　
　　　　　京都市左京区松ヶ崎橋上町　
　　　　　（地下鉄烏丸線｢松ヶ崎｣駅から　徒歩8分）
参加者　１６名
内容 講演
　　　「EurosensorsXXIV（Eurosensors10）」(オーストリア　リンツ)参加報告会
　　　　13：30〜13：40　「挨拶・総括」兵庫県立大学 大学院工学研究科　教授　前中　一介　氏
　　　　13：40〜14：10　「センサ・エレクトロニクス・センサネットワーク分野」
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　関西大学 　システム理工学部　助教　鈴木昌人　氏
　　　　14：10〜14：40　「パッケージ・プロセス技術」
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　京都大学 大学院工学研究科　助教　平井義和　氏
　　　　15：00〜15：30　「物理センサ」　　京都工芸繊維大学　大学院工芸科学研究科　准教授　山下　馨　氏
　　　　15：30〜16：00　「Energy harvesting」　　　兵庫県立大学　大学院工学研究科　准教授　藤田孝之　氏
　　　　16：00〜16：30　「マイクロ・ナノデバイス」　　　　ERATO研究員　蒋永剛　氏

第14回MEMS技術分科会
日時：　平成23年7月26日（火） 午後1時30分〜5時00分
会場：　兵庫県立大学　書写キャンパス 書写紀念会館ホール　
　　　　　〒671-2280　姫路市書写2167　　��079-266-1661
参加者　 ３０名
○ 講演　
13:30〜14:10「Transducers2011参加報告-総論、慣性センサ関連」
　　　　兵庫県立大学大学院工学研究科　電気系工学専攻教授 　　前中　一介　氏
14:10〜14:50「Transducers2011参加報告−CMOS MEMS､ワイヤレス関連」
　　　 ERATO前中センシング融合プロジェクト　技術参事 　　　　樋口　行平　氏
　　　　　　−−−休憩　10分−−−
15:00〜15:40「Transducers2011参加報告−集積化アレイセンサ関連・その他」
　　　香川大学 微細構造デバイス統合研究センター 副センター長
　　　　　工学研究院 知能機械システム領域 准教授 　　　　　　高尾　英邦　氏
15:40〜16:10 「Transducers2011−環境発電関連」　　　
兵庫県立大学大学院工学研究科　電気系工学専攻准教授　　 藤田　孝之　氏
16:20〜17:00
　　ERATOプロジェクト研究室の見学会

第１回GST分科会
グリーンシステム技術分科会のキックオフおよびMEMS技術分科会の解散会
日時：　平成24年11月22日（木）　14：30〜17：20
会場：　常翔学園大阪センター　304　（毎日インテシオ　3階）
　　　　（毎日インテシオは、毎日新聞ビル1Fとつながっています）　　　
大阪市北区梅田3-4-5　TEL：06-6346-6367
◯14:30〜15:00
「MEMS技術分科会の歩み，実績，解散について」
　　　MEMS技術分科会会長　　兵庫県立大学　教授　前中一介　氏
◯15:00〜16:00
「ウインキング現象を利用したMEMSリングレーザジャイロに関する研究」
　　MEMS-RLGプロジェクト　JST-ERATO研究員　橋本泰知　氏
○休憩　16:00〜16:20
◯16:20〜17:20
「グリーンシステム技術分科会キックオフおよびエナジーハーベスティングの現状」
　　グリーンシステム技術分科会会長　　兵庫県立大学　准教授　藤田孝之　氏
○17:30〜19:00
　　交流会　　ラウンジ翔　参加費　2000円　

第2回GST分科会（センシング技術応用研究会第182回研究例会と共同開催）
日時　：　平成２５年１月３１日（木）
会場　：　公立大学法人大阪府立大学　C1棟　 学術交流会館 小ホール
内容　：　○講演　　１３：３０〜１４：２０
　　　　　「強誘電体MEMSによる振動発電」
　　　　　大阪府立大学大学院 工学研究科 准教授 吉村 武 氏
　　　　○講演　　１４：２０〜１５：１０
　　　　　「磁歪材料を用いた振動発電技術とその応用」
　　　　　　金沢大学 電子情報学系 准教授 上野 敏幸 氏
　　　　○<休憩>　　１５：１０〜１５：２０
　　　　○製品紹介　１５：２０〜１６：００
　　　　　　　　「環境発電向けのチップ型電気二重層キャパシタ」
　　　　　　　　　セイコーインスツル株式会社 マイクロエナジー事業部 ME技術開発部
　　　　　　　　　　　MERE推進グループ RE開発チーム 主任 佐藤 涼 氏
　　　　○グリーンシステム技術分科会の紹介 (16:00〜16:10）
　　　　　　　　　　　兵庫県立大学大学院 工学研究科 准教授 藤田 孝之 氏
　　　　○見学会 (16:10〜17:20)
　　　　　　　　　　　大阪府立大学 藤村研究室、平井研究室
　　　　○交流会 (17:30〜19:00)
　　　　　　　　　　　大阪府立大学 B15棟 シエル ＜参加費：￥3,000-＞

第3回GST分科会（公益社団法人応用物理学会　集積化MEMS技術研究会主催）
グリーンシステム技術分科会協賛
第７回集積化MEMS技術研究会「エネルギーハーベスティング」 会告
集積化MEMSは，次世代のデバイス・システムの成長原動力となるMore than
Moore技術の1つとして，最近，注目を集めています。 本研究会は，MEMSとLSIの
両技術分野の融合と新たなテーマ開拓に向けて，材料，プロセス，デバイス構
造，実装技術，高歩留まり技術，高信頼化技術な どを視野に入れ， 基礎研究か
ら実用化に至るまでの様々な段階に関する活発な議論の場を提供します。今回は
主として「エネルギーハーベスティング」に焦点を当てて， 最近の動向につい
て一線でご活躍の講師をお招きして研究会を開催いたします。 また，本研究会
をオムロン株式会社京阪奈イノベーションセンターで開催するにあたり，同セン
ターを見学させて頂けますので，多くの方の御参加をお待ちして おります。
【開催日時】 平成25年5月24日（金曜日）13:00〜16:15
【開催会場】　オムロン株式会社　京阪奈イノベーションセンター　2階大会議室
【参加費】 A会員（応物会員以外），B会員（応物会員），賛助会員，学生，
および入会手続き中の会員は無料，非会員は5000円
【見学会】 オムロン株式会社京阪奈イノベーションセンター
16:20〜16:50 （16:20までに研究会会場にお集まり下さい。）
【懇親会】 ＜要申し込み＞　京都駅近辺　会費：3000円（予定）
18：30〜20:30　（20:53京都発の新幹線で東京に帰れます。）
【プログラム】
座長：積　知範（オムロン株式会社）
13:00〜13:10 委員長挨拶　　益一哉（東京工業大学）
13:10〜13:35 「エレクトレットを用いたMEMS環境振動発電」
　　　　　　　鈴木雄二（東京大学）
13:35〜14:00 「PZT圧電薄膜を用いたMEMS音響発電デバイス」
　　　　　　　西岡泰城（日本大学）
14:00〜14:25 「MEMSバッチファブリケーションを目指した電磁型エナジーハーベスタ」
　　　　　　　藤田孝之（兵庫県立大学）
14:25〜14:50 「磁歪材料を用いた振動発電技術とその応用」
　　　　　　　上野敏幸（金沢大学）
14:50〜15:00 休憩
座長：石井　仁（豊橋技術科学大学）
15:00〜15:25 「エレクトレット材料を用いた小型環境振動発電デバイスの開発」
　　　　　　　正木達章（オムロン株式会社）
15:25〜15:50 「環境発電向け熱電変換素子の研究開発」
　　　　　　　鈴木貴志（株式会社　富士通研究所）
15:50〜16:15 「エネルギーハーベスティングとnWセンサノード技術」
　　　　　　　森村浩季（NTTマイクロシステム インテグレーション研究所）
16:20〜16:50 見学会（オムロン（株）京阪奈イノベーションセンター）
18:30〜20:30 懇親会

第４回グリーンシステム技術分科会　
日時：平成25年7月30日（火）10:00〜13:00
場所：常翔学園大阪センター301室
内容：Transducers参加報告
10:00〜10:05　会長挨拶　　会長　兵庫県立大学　准教授　藤田　孝之氏
10:05〜10:45　　圧電MEMSエナジーハーベスタ
　　　神戸大学　工学研究科機械工学専攻 教授 神野　伊策 氏
10:45〜11:25　静電エナジーハーベスタ（静電・電磁誘導方式）
　　　関西大学システム理工学部　准教授　鈴木　昌人　氏
11:35〜12:15　MEMS材料開発・評価技術
　　　兵庫県立大学　工学研究科 准教授　生津　資大　氏
12:15〜12:55　低電力MEMSセンサ
　　　新潟大学 大学院自然科学研究科 材料生産システム専攻
　 　　　　　　　　　　　　　助教　寒川 雅之　氏

第5回グリーンシステム技術分科会・見学会
日時：　平成26年6月19日（木）13:00〜17:00
会場：　大阪大学　産業科学研究所　第2研究棟1階　セミナー室（S109室）
13:30〜13:40　挨拶　　グリーンシステム技術分科会副会長
　　　　　　　大阪府立大学　准教授　吉村　武　氏
13:40〜14:30　「生体情報センシングシステムの高信頼度化と低消費電力化」
　　　　　　　大阪大学　教授　今井　正治　氏
14:30〜14:40　休憩
14:40〜15:10　「センサネットワークを活用したオフィスビルの省エネルギー化の取り組み」
　　　　　　　ダイキン工業(株)　西野　淳　氏
15:10〜15:30　「Power MEMS 2013学会報告(圧電式振動発電他）」
　　　　　　　大阪府立産業技術総合研究所　主任研究員　村上　修一　氏
15:30〜15:50　「Power MEMS 2013学会報告（静電式振動発電他）」　
　　　　　　　関西大学　助教　高橋　智一　氏
15:50〜16:00　休憩
16:00〜16:30　「3次元ナノテンプレートPLD法による金属酸化物3次元ナノ機能構造の創製」
　　　　　　　大阪大学　助教　服部　梓　氏
16:30〜17:00　見学会（大阪大学ナノテクノロジー設備供用拠点）　
　　　　　　　大阪大学　特任助教　法澤 公寛　氏
17:30〜19:00　交流会　　Kitchen BISKYOKU　　　　参加費￥2,000-

第6回GST分科会
開催日時 平成26年11月17日（月）9:00〜16:50
　　　　　　　　平成26年11月18日（火）9:00〜13:10
開催会場　三宮トレーニングセンター会議室（Sannomiya Training Center）　
参加費 学生　15,000円　一般 25,000円
URL:　http://powermems2014.org/school/index.html
【プログラム】
November 17
9:00- Registration
9:30-9:35 Opening
9:35-10:20 “Energy Harvesting for M2M Communications in Future
Cyber Physical Systems of Systems,” Dr. Haydn Thompson, THHINK
Wireless Technologies, UK
10:20-11:05 “Fundamentals of Vibration Energy Harvesting,” Prof.
Paul Mitcheson, Imperial College London, UK
11:05-11:50 “Thermoelectrics and Its Applications,” Prof. Koji
Miyazaki, Kyushu University of Technology, Japan
11:50-12:50 Lunch
12:50-13:35 “Deposition of Piezoelectric Thin Films and Their
Application of Vibration Energy Harvesters,” Prof. Isaku Kanno, Kobe
University, Japan
13:35-14:20 “Electrostatic Vibration Energy Harvester,”
Prof. Philippe Basset, Universit? Paris-Est, ESYCOM, ESIEE Paris,
France
14:20-14:35 Coffee break
14:35-15:20 “Electret Vibration Energy Harvester,” Prof. Yuji
Suzuki, The University of Tokyo, Japan
15:20-16:05 “Magnetostrictive Vibrational Power Generator and Its
Applications”, Prof. Toshiyuki Ueno, Kanazawa University, Japan
16:05-16:50 TBD
November 18
9:00-9:45 “Nonlinear Circuit for Vibration Energy Harvester,”
Prof. Adrien Badel, Universite Savoie, France
9:45-10:30 “Active Frequency Tuning of Vibration Energy
Harvesters,” Dr. Dibin Zhu, University of Southampton, UK
10:30-10:45 Coffee break
10:45-11:30 “Nonlinear Effects in Vibration Energy Harvesters,”
Prof. Einar Halvorsen, Vestofold University College, Norway
11:30-12:15 “Frequency Up-converting Motion Harvesters for
Wearables and the Internet of Things,” Dr. Tzeno Galchev, IMTEK,
University of Freiburg, Germany
12:15-13:00 TBD
13:00-13:10 Closing
本件連絡先：
PowerMEMS School Chair 鈴木　雄二（東京大学）
PowerMEMS2014事務局　info@powermems2014.org
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POWER MEMS 2014 スクール
POWER MEMS 2014
協賛：センシング技術応用研究会
協賛：センシング技術応用研究会　グリーンシステム技術分科会　
　　　　　　第6回グリーンシステム技術分科会
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第7回GST分科会
開催日時 平成26年12月10日（水）10:30〜17:00
開催会場　京都テルサ　会議室D
参加費 　会員　12,000円　学生　3,000円
定員60名
プログラム：
10:30〜12:00
　Trillion Sensorsの目指す世界とMEMSの役割
　SPPテクノロジーズ（株） エグゼキュティブシニアアドバイザー戦略会議議長
　神永　晋（かみなが　すすむ）氏
13:30〜15:10
　医療・健康科学のためのDaily Human Monitoring 用バイオセンサ
　東京医科歯科大学 教授
　三林　浩二（みつばやし　こうじ）氏
13:15〜16:45
　農業・畜産分野へのセンサ・MEMS技術とその応用事例
　豊橋技術科学大学 教授
　澤田　和明（さわだ　かずあき）氏 　 　 　

第8回　GST（グリーンシステム技術）分科会　
日時：平成27年7月17日（金）10：30〜12：40
会場：常翔学園大阪センター 301
〒530-0012 大阪市北区梅田3-4-5 毎日インテシオ3階
TEL：06-6346-6367
”Transducers2015報告会”
10:30〜10:35 GST分科会会長あいさつ　
　　　　　兵庫県立大学　大学院工学研究科電子情報工学専攻　准教授　藤田孝之氏　
10:35〜11:15 概要総括＋材料・センサ
　　　　　立命館大学　理工学部機械工学科　准教授　安藤妙子氏
11:15〜11:55 プロセス技術
　　　　　京都大学工学研究科マイクロエンジニアリング専攻　助教　平井義和氏
11:55〜12:00 休憩　
12:00〜12:40 エナジーハーベスタ
　　　　　関西大学システム理工学部機械工学科 准教授　鈴木昌人氏
12:40 閉会　

第９回GST分科会
【開催日時】 平成28年 7月26日（火）10:00〜12:30
【開催会場】　TKPガーデンシティPREMIUM大阪駅前　　シクラメン
http://tkp-osaka-ekimae.net/room_detail/3175/
【プログラム】
10:00〜10:05 GST分科会会長あいさつ　
　兵庫県立大学　大学院工学研究科電子情報工学専攻　准教授　藤田孝之氏　
10:05〜11:05
　「電池の要らない極低電力バッテリレス端末の研究（仮）」
　　　立命館大学理工学部電子情報デザイン学科　　教授　道関　隆国　氏　
11:05-11:10　休憩
11:10-11:50
　「MEMS2016上海」参加報告　
　　 「プロセス，技術」　
　　　京都大学工学研究科マイクロエンジニアリング専攻　助教 平井　義和　氏
11:50-12:30
　　「MEMS2016上海」参加報告　
　　　「エナジーハーベスティング，センサ」　
　　　　兵庫県立大学大学院工学研究科電子情報工学専攻　准教授　藤田孝之　氏

第10回GST分科会
【開催日時】 平成 29年 7月 10日（月）10:45〜14:00
【開催会場】　大阪産業技術研究所　森之宮センター　大講堂
http://www.omtri.or.jp/
【プログラム】
10:45〜10:50　
　　GST分科会会長　ご退任挨拶
　　 　 　兵庫県立大学大学院　工学研究科電子情報工学専攻　准教授　藤田 孝之　氏
10:50〜11:30
　　「Transducers2017参加報告」〜製作，材料，パッケージング他
　　　　　　　　　立命館大学 理工学部　機械工学科　准教授　安藤 妙子 氏
12:50〜13:30
　　 「Transducers2017参加報告」〜センサ全般
　　　　　　　新潟大学 工学部 機械システム工学科　准教授 寒川 雅之　氏　
13:30〜14:00
　　「MEMS2017、強誘電関係の報告」
　　　　　大阪府立大学大学院 工学研究科 電子･数物系専攻　電子物理工学分野　准教授　吉村　武　氏

第11回GST分科会（第202回研究例会合同開催）
【開催日時】 平成 30 年　2月 9日（金） 13:30〜16:50
【開催会場】　大阪府立大学中百舌鳥キャンパス　B3棟　1階　117号室
【プログラム】
−講 演−　(13:30〜14:20)
　　「エナジーハーベスティング技術活用の最新動向」
　　 (株)NTTデータ経営研究所 社会・環境戦略コンサルティングユニット
　　　　　　　　　　シニアマネージャー 竹内 敬治　氏<
−講 演−　(14:20〜15:10)
　　「積層型熱電素子の開発とＷＳＮ端末への応用」
　 　(株)村田製作所　新規事業推進部 新規事業推進1課
　　　　　　　　　 シニアリサーチャー　中村 孝則 氏
−製品紹介−　(15:25〜15:55)<BR>
　　「環境発電×IoTモジュール（作る・貯める・使う）の紹介」
　　　　　　　 太陽誘電(株) エネルギーデバイス部
　　　　　　　　　　次長　石田 克英 氏
−見学会−　(16:00〜16:50)
　　大阪府立大学　ものづくりオープンプラットフォーム他
−交流会−　(17:00〜18:30)<BR>
　 ベーカリーレストラン「シエル」　　　＜参加費：2,500-＞
　　　　　　　大阪府立大学　中百舌鳥キャンパス　B15棟

第12回GST分科会
【開催日時】 平成 30年 7月 10日（火）10:20〜12:30
【開催会場】　大阪産業技術研究所　森之宮センター　大講堂
【プログラム】
10:20〜10:25　
　　GST分科会会長挨拶
　　 　 　大阪府立大学大学院 工学研究科 電子･数物系専攻　電子物理工学分野 准教授　吉村　武　氏
10:25〜11:25
　　「熱電発電の実用化を目指して　〜実用研究で見えた課題と強み〜」
　　　　　国立研究開発法人　産業技術総合研究所 無機機能材料研究部門 舟橋 良次 氏
11:30〜12:30
　　 「振動発電の原理と設計法」
　　　　大阪府立大学大学院 工学研究科 電子･数物系専攻　電子物理工学分野 准教授　吉村　武　氏　

第13回グリーンシステム技術分科会　
日時：　令和元年7月31日（水）　10:00〜12:35　　
会場：　大阪産業創造館　5階　研修室A ､ B　　　
◯10:00〜10:05　GST分科会会長　挨拶
大阪府立大学大学院 工学研究科 電子･数物系専攻　電子物理工学分野
　　准教授　吉村　武　氏
◯10:05〜11:05　「高性能熱電材料の開発戦略」
京都大学　複合原子力科学研究所　安全原子力システム研究センター　
　　教授　黒崎　健　氏
◯11:05〜12:05 「セラミックスと金属の疲労破壊の違い」
香川大学 創造工学部創造工学科 先端材料科学領域
　　講師　松田　伸也　氏
◯12:05〜12:35 「Transducers2019参加報告」
新潟大学 工学部 工学科 機械システム工学プログラム　
　　准教授　寒川 雅之　氏　

第14回グリーンシステム技術分科会　※全てオンライン講演です。
日時：令和2年7月29日（水）　10：00〜12：35　　　
会場：堺市産業振興センター　4階　セミナー室 2　
・10：00〜10：05　GST分科会会長　挨拶
　　　大阪府立大学大学院 工学研究科 電子･数物系専攻　電子物理工学分野
　　　准教授　吉村　武　氏
・10：05〜11：05　「自律駆動センシング回路と圧電素子が創るスマートな社会」
　　　　　　　　　　※オンライン講演　　　　
　　　　　　金沢大学　理工研究域　フロンティア工学系　浅沼　春彦　氏
・11：05〜12：05 「未　定」　※オンライン講演　
　　　東京大学大学院 新領域創成科学研究科 物質系専攻 工学部応用化学科（兼担）
　　　　　　　　　　　　　　 准教授 岡本 敏宏　氏
・12：05〜12：35 「SMD対応小型全固体電池「SoLiCell」とその切り開く市場」　
※オンライン講演　
　　 　FDK株式会社　基盤技術・新事業本部　全固体電池事業推進室　
　　　　　　　　　　　 マネージャー　鳥井 一郎　氏

第15回グリーンシステム技術分科会
日時：令和3年7月14日（水）10:00〜12:25
会場：堺市産業振興センター４階セミナー室　2　　　　　
◯10:00〜10:05　GST分科会会長　挨拶
　　大阪府立大学大学院 工学研究科 電子･数物系専攻　電子物理工学分野准教授　吉村 武　氏
◯10:10〜11:00「フレキシブル・耐熱性を持つゾルゲル複合体圧電デバイスとその産業応用」
　　株式会社CAST 代表取締役 中妻 啓　氏
◯11:05〜11:55「高出力で安全・長寿命なグラフェンスーパーキャパシタ」
　　株式会社マテリアルイノベーションつくば　研究戦略企画部長　古山 通久　氏
◯12:00〜12:25「Smartmeshシステムのご紹介」　
　　伊藤電機株式会社　第三営業部 営業二課　米澤 克也　氏

☆第16回グリーンシステム技術分科会　
日時：令和4年7月14日（木）　10：00〜12：25　　　
会場：堺市産業振興センター　4階　セミナー室 2　
10：00〜10：05　GST分科会会長　挨拶
　　　大阪府立大学大学院 工学研究科 電子･数物系専攻　電子物理工学分野
　　　　　　　　　 准教授　吉村　武　氏
10：10〜11：00　「柔軟性材料を用いたIoTセンサデバイス」　※オンライン講演　
　　　　　　　　　東京理科大学　理学部応用物理学科　准教授 中嶋　宇史　氏
11：05〜11：55 「3次元微細形状を有するポリマー振動発電デバイス」
　　　　 群馬大学 大学院理工学府　知能機械創製部門　教授　鈴木 孝明　氏
12：00〜12：25 （製品紹介）　※オンライン講演
「CLEAN-Boost技術の紹介と、EH素子利用のIoT機器を社会実装するにあたっての課題」
　　　エイブリック株式会社　ビジネスディベロップメントユニット　宮原 康之　氏　　

☆第17回グリーンシステム技術分科会　
日時：令和5年7月21日（金）　9：45〜12：00　　　
会場：堺市産業振興センター　4階　セミナー室 2
9：45〜9：50　GST分科会会長　挨拶
　大阪公立大学大学院 工学研究科 電子･数物系専攻　電子物理工学分野
　　　　　　　　　 准教授　吉村　武　氏
9：50〜10：10 「Transducers報告」
　大阪公立大学大学院 工学研究科 電子･数物系専攻　電子物理工学分野
　　　　　　　　　 准教授　吉村　武　氏　　　　　　　　　　　
10：10〜10：30（製品紹介）　※オンライン講演
「革新的転送技術を用いた省電力メッシュNW型無線UNISONet」
　　ソナス株式会社 Business Division　コンセプトリード　滝澤　慎也　氏
10：35〜11：15　※オンライン講演
「熱計測技術とサーマルリザバーコンピューティング技術の融合による熱マネジメント」
　　　京都大学大学院　工学研究科 ナノ・マイクロシステム工学 准教授　廣谷　潤 氏
11：20〜12：00　※オンライン講演
「「廃熱は資源！」学生との対話から生まれた研究」
　　　関西学院大学大学院 理工学研究科　教授　田中 裕久　氏　

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